文章提出了一种基于点光源显微镜（PSM）光学布局的横向剪切干涉（LSI）波前传感器的剪切量标定方法。

引入了四波LSI的仿真模型，分析了空间滤波器的窗口大小和剪切量对剪切波前特征提取（SWFE）方法精度的影响。

仿真结果表明，在较小的剪切量下，SWFE方法的精度有所下降。

所提出的校准方法利用PSM的光学布局，在传感器本身的探测器平面上生成点源的光点图像。

剪切量是通过光斑图像的横向距离与光栅的衍射阶数分布之间的关系来校准的。

在实验中，采用该方法对SID4波前传感器和圆孔径改进的哈特曼掩模LSI波前传感器进行了校准。

生产了一种刻有图案的相板作为试样。

采用两个波前传感器的蚀刻深度特征，并与商用ZYGO®干涉仪的测试结果进行了比较。

验证了所提校准方法的可行性和准确性。

该校准方法为高精度校准LSI波前传感器的剪切量提供了一种简便的方法。