夏克-哈特曼反射式波前测量系统 SHSInspect RL
SHSInspect RL模块是灵活的波前测量工具，采用双通光路对光学元件及系统进行功能测试。它将SHSLab波前传感器、光源以及成像光学器件集成在一体化的紧凑设备中，易于集成到台式设备、测试平台或生产线中。
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SHSInspect RL模块具有如下优势采用共轭成像设计，类似于干涉仪光学系统，无像场畸变误差。针对高精度测量的成熟校准过程模块化的照明单元，可轻松改变波长波前传感器可单独使用，保证复位精度
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测量原理光路
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性能参数
水平分辨率 85x53 116x116 (SHSCam HR2 SHSCam UHR3) 测量速率 18 Hz / 4 Hz 测量精度 (PV) 入/20(典型) 重复性 (RMS) 1nm 2 nm 光源波长 VIs (400-700 nm) 或NIR (700-1050 nm) 尺寸 (长x宽x高) 275x180x90 mm3 包含附件 猫眼模块(倾斜校准)、平面反射镜 (N/20) -
附件选项
