超精密三坐标测量机
ISARA400是一台多探针3D坐标测量机，能够实现对大口径和复杂工件( 自由曲面) 的纳米级测量。借助独有的全方位探针技术，ISARA400还可以测量工件的几何形状，包括平面、孔类及曲面等，并且拥有其它传统坐标测量机无法比拟的精度。
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产品特性以纳米级分辨率，3D测量复杂表面与自由曲面光学器件的度量工具在所有三个方向上的测量不确定度均低至50 nm（1D）与同类三坐标测量机相比，测量范围显著增加到400 x 400 x 100 mm将参考光学表面转化为机械参考的能力完全可追溯的测量多探针仪器，通过运动型探针支架实现所有导轨均带有多孔介质空气轴承，可实现平稳、无摩擦的运动，是3D扫描测量的理想之选
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应用范围
- 大口径光学元件面形测量
- 几何形貌测量
- 自由曲面光学点阵测量
- 阵列小工件测量
- ( 超) 半球的面形测量
- 非球面镜和模型的扫描测量
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性能参数
